化合物简介
四甲基氢氧化铵(TMAH或TMAOH)是一种分子式为 N(CH3)4+ OH− 的季铵碱,也是这类化合物中最简单的一种。这种物质只在五水合物时是一种相对稳定的固体形态。商业上,TMAH通常以浓的水或甲醇溶液的形式销售。其固体和溶液均为无色,不纯时为黄色。纯净的TMAH几乎没有气味,但样品常有强烈的鱼腥味,因其含有三甲胺的不纯物。TMAH有大量、广泛的工业和科研用途,例如在黄光制程中当显影液(去光阻液)。
基本信息
中文名称
四甲基氢氧化铵五水合物
英文名称
Tetramethylammonium hydroxide pentahydrate
中文别名
四甲基化氢氧化铵、四甲基氢氧化铵(TMAH)
英文别名
TetraMethylaMMoniuM Hydroxide Pentahydrate、Methanaminium, N,N,N-trimethyl-, hydroxide, pentahydrate、Tetramethylammonium hydroxide、TMAH Pentahydrate、tetramethylazanium,hydroxide,pentahydrate
CAS号
10424-65-4
分子式
C4H23NO6
分子量
181.229
精确质量
181.153
PSA
69.21
LOGP
-0.1759
编号系统
BRN号
3714235
PubChem号
24900455
MDL号
MFCD00149566
EINECS号
200-882-9
RTECS号
PA0875000
物化性质
外观与性状
无色针状晶体
熔点
67-70°C(lit.)
水溶解性
soluble
稳定性
Stable. Incompatible with strong oxidizing agents, strong acids.
储存条件
0-6ºC
蒸汽密度
1.1 (vs air)
蒸汽压
97 mm Hg ( 20 °C)
安全信息
RTECS号
PA0875000
安全说明
S26-S36/37/39-S45
WGK Germany
1
危险类别码
R20/21/22; R24/25; R34; R44
危险品运输编码
UN 3423 8/PG 2
海关编码
2923900090
危险类别
8
包装等级
II
危险品标志
T; C
生产方法及用途
用途
作硅橡胶、甲基硅油助剂和极谱分析试剂等。在有机硅方面,作为二甲基硅油,苯甲基硅油,有机硅扩散泵油,无溶剂有硅模塑料,有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在分析方面,作为极谱试剂,在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素,在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。四甲基氢氧化铵作为催化剂,其优点是,反应完后加热升温,可使之分解为气体而赶走不残留在产品中。
海关数据
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