硅化锆

硅化锆

CAS号:12039-90-6
英文名:Zirconium silicide
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化合物简介
Zirconium(IV) silicide is an inorganic chemical compound with the chemical formula ZrSi2, consisting of zirconium and silicon atoms.
基本信息
编号系统
物化性质
安全信息
生产方法及用途
生产方法
1.以金属锆和硅粉为原料。将金属锆粉碎,再与硅粉充分混合,将混合料放入石墨炉内,加热至900~1000℃进行预反应,然后通入氢气,再升温至1200℃左右进行反应,制得硅化锆。
2.采用直接法。以金属锆和硅粉为原料制备硅化锆,反应式如下。首先将金属锆粉碎,再与硅粉充分混合,将混合料放入石墨炉内,加热至900~1000℃进行预反应,然后通入氢气,再升温至1200℃左右进行均化反应,即制得硅化锆。
用途
用作精细陶瓷原料粉,用于生产半导体薄膜生产用坩埚。