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三氟-硅烷

三氟-硅烷

CAS号:13465-71-9
英文名:TRIFLUOROSILANE
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基本信息
物化性质
安全信息
生产方法及用途
生产方法
SiHCl3+SbF3→SiHF3+SiHCl2F+SiHClF2主要产物为SiHF3,产率可达90%,后二者含量较少。SiHF3在液氮温度下不稳定,发生分解反应:4SiHF3→SiH4+3SiF4。