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三氯氢硅

三氯氢硅

CAS号:10025-78-2
英文名:Trichlorosilane
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化合物简介
三氯氢硅是一种无机化合物,化学式为SiHCl3。
基本信息
编号系统
物化性质
安全信息
生产方法及用途
生产方法
1.沸腾氯化法 硅粉经干燥后加入氯化沸腾炉,与通人炉中的干燥氯化氢气体在340℃进行反应。生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅,由蒸馏塔出来的三氯氢硅气体经冷凝,制得三氯氢硅成品。
2.将硅(97%)填充到石英反应管中,边通入干燥氯化氢,边反应。接受器用冷冻剂冷却。往氯化钠中加入浓硫酸产生氯化氢。反应前,将炉加热,通入干燥氢气使系统干燥,接着加热到300℃,送入氯化氢使其反应。蒸馏反应产物,首先蒸出的是溶解的氯化氢,接着蒸出产物。残余组分为四氯化硅。如有必要,可再次蒸馏进行提纯。
用途
用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成,是有机硅烷偶联剂中最基本的单体,也是生产半导体硅、单晶硅的原料,随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求,生产量越来越大。