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六氟乙烷

六氟乙烷

CAS号:76-16-4
英文名:hexafluoroethane
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化合物简介
六氟乙烷,是一种卤代烃(化学式:C2F6),亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。
基本信息
编号系统
物化性质
安全信息
生产方法及用途
生产方法
以活性炭与氟为原料,在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF
4、C2F
6、C3F8的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,提取C2F6,再用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99.7%的C2F6。
用途
1.用作绝缘气、等离子蚀刻剂, 高介电强度泠却剂
2.用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。