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三甲基硅烷

三甲基硅烷

CAS号：993-07-7

英文名：TRIMETHYLSILANE

分子式

C3H10Si

熔点

-135.9ºC

密度

0.63

分子量

74.197

沸点

6.7ºC

溶解度

信号词

危险品标志

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化合物简介

三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物，化学式为C3H10Si，结构简式(CH3)3SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。

基本信息

中文名称

三甲基硅烷

英文名称

TRIMETHYLSILANE

中文别名

英文别名

SILICON TRIMETHYL、trimethylsilicon、Trimethylsilyl hydride,2-Methyl-2-silapropane、trimethyl-silane、2-Methyl-2-silapropane、trimethyl-silan、Silane, trimethyl-

CAS号

993-07-7

分子式

C3H10Si

分子量

74.197

精确质量

74.0552

PSA

0.0

LOGP

1.1029

编号系统

EINECS号

213-603-0

物化性质

密度

0.63

沸点

6.7ºC

熔点

-135.9ºC

闪点

<-29ºC

安全信息

安全说明

9-16-26-33

危险类别码

R12

海关编码

2931900090

危险品运输编码

UN 3161

合成路线

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ethene

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上游原料

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Bis(trifluoromethyl)phosphinic chloride

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三乙基硅烷

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三甲基硅烷基自由基

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trimethyl(trimethylsilylsilyl)silane

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六甲基二硅烷

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