硅酸四乙酯

四乙氧基硅烷（英语：tetraethyl orthosilicate，经常缩写为TEOS）是一种化合物，常态下为液体，其化学式为Si(OC2H5)4。四乙氧基硅烷分子可以认为是原硅酸根（SiO44−）与4个乙基相连，也即正硅酸的乙基酯（虽然原硅酸根离子在溶液中并不存在），还可以看做是硅的乙醇盐。其“硅酸根”部分呈正四面体结构。